“硬核”亮相 | Festo为半导体行业注入新动力
费斯托 · 2022-09-22 10:45:05 · 业内 · 1260 次浏览
摘要:Festo的气体控制解决方案可精准控制N2对晶圆传送盒进行吹扫,确保晶圆在传输过程中状态稳定、无杂质,从而大大提升生产良率。Festo压电阀精准控制N2流量,高动态响应,能耗极低,集成通讯实现数据采集与传输。

 

全球缺芯对全球半导体产业链来说

是一场极大的“危机”

但是在“危机”之下也并存着机遇

如何顺利突围

是各大半导体厂家最关心的话题

别担心!

费斯托带着半导体自动化解决方案

为半导体行业注入新动力


 

Festo的气体控制解决方案可精准控制N2对晶圆传送盒进行吹扫,确保晶圆在传输过程中状态稳定、无杂质,从而大大提升生产良率。Festo压电阀精准控制N2流量,高动态响应,能耗极低,集成通讯实现数据采集与传输。


 

 

无需动力源,仍能切断气体钢瓶的气体供应

采用特殊的或阀设计,使系统控制不中断

热插拔功能,无需关闭气源即可更换电磁阀

特殊强供模块,精简回路设计

 

 

 

半导体厂生产过程中会使用各种气体。Festo可提供流量或压差式的泄露检测方案,通过IO-Link通讯可实时监测数据,确保生产工艺和质量的可靠性,提升生产率。

 

 

 

 通过VTEM可实现高阶的气动控制,对运行时间、加速减速、精度都能做到精准控制,从而实现晶圆平稳且完全同步的上下料运行。

 

 

当然

这只是费家半导体解决方案的一部分

我们有专业的技术团队

根据您的不同需求出谋划策

 

创“芯”共赢,驱动未来

费斯托半导体解决方案

为您创造更多附加价值

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